電子ビーム描画法を用いたin-situシリコン選択エピタキシャルSOI構造の研究

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Bibliographic Information

Title
"電子ビーム描画法を用いたin-situシリコン選択エピタキシャルSOI構造の研究"
Statement of Responsibility
研究代表者:石田誠
Publisher
  • 石田誠
Publication Year
  • 1993.3
Book size
30cm
Other Title
  • デンシ ビーム ビョウガホウ オ モチイタ in-situ シリコン センタク エピタキシャル SOI コウゾウ ノ ケンキュウ
  • 平成4年度科学研究費補助金(一般研究B)研究成果報告書

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Notes

研究課題番号: 03452155

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Details 詳細情報について

  • CRID
    1130282269106188800
  • NII Book ID
    BN13174655
  • Country Code
    ja
  • Title Language Code
    ja
  • Place of Publication
    • [豊橋]
  • Classification
  • Data Source
    • CiNii Books
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