電子ビーム描画法を用いたin-situシリコン選択エピタキシャルSOI構造の研究
CiNii
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書誌事項
- タイトル
- "電子ビーム描画法を用いたin-situシリコン選択エピタキシャルSOI構造の研究"
- 責任表示
- 研究代表者:石田誠
- 出版者
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- 石田誠
- 出版年月
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- 1993.3
- 書籍サイズ
- 30cm
- タイトル別名
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- デンシ ビーム ビョウガホウ オ モチイタ in-situ シリコン センタク エピタキシャル SOI コウゾウ ノ ケンキュウ
- 平成4年度科学研究費補助金(一般研究B)研究成果報告書
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注記
研究課題番号: 03452155
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1130282269106188800
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- NII書誌ID
- BN13174655
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- 出版国コード
- ja
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- タイトル言語コード
- ja
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- 出版地
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- [豊橋]
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- 分類
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- NDC8: 549.8
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- データソース種別
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- CiNii Books