Introduction to microlithography : theory, materials, and processing

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タイトル
"Introduction to microlithography : theory, materials, and processing"
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L.F. Thompson, editor, C.G. Willson, editor, M.J. Bowden, editor ; based on a workshop sponsored by the ACS Division of Organic Coatings and Plastics Chemistry at the 185th Meeting of the American Chemical Society, Seattle, Washington, March 20-25, 1983
出版者
  • The American Chemical Society
出版年月
  • 1983
書籍サイズ
24 cm

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