Monitoring and control of plasma-enhanced processing of semiconductors : proceedings : 1-2 November 1988, Santa Clara, California
書誌事項
- タイトル
- "Monitoring and control of plasma-enhanced processing of semiconductors : proceedings : 1-2 November 1988, Santa Clara, California"
- 責任表示
- James E. Griffiths, chair/editor ; sponsored by SPIE--the International Society for Optical Engineering
- 出版者
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- SPIE
- 出版年月
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- c1989
- 書籍サイズ
- 28 cm
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注記
Includes bibliographical references
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1130282269185684864
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- NII書誌ID
- BA10622747
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- ISBN
- 0819400726
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- LCCN
- 88063652
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- Web Site
- https://lccn.loc.gov/88063652
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- 本文言語コード
- en
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- 出版国コード
- us
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- タイトル言語コード
- en
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- 出版地
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- Bellingham, Wash., USA
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- 分類
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- LCC: TK7871.85
- DC20: 621.381/52
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- 件名
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- LCSH: Semiconductors -- Congresses
- LCSH: Plasma engineering -- Congresses
- LCSH: Epitaxy -- Congresses
- LCSH: Vapor plating -- Congresses
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- データソース種別
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- CiNii Books