逆向型ラジカル源を用いた薄膜化技術に関する研究 : 平成3〜6年度無機材質特別研究
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書誌事項
- タイトル
- "逆向型ラジカル源を用いた薄膜化技術に関する研究 : 平成3〜6年度無機材質特別研究"
- 責任表示
- 科学技術庁無機材質研究所編
- 出版者
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- 科学技術庁無機材質研究所
- 出版年月
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- 1995.11
- 書籍サイズ
- 30cm
- タイトル別名
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- ギャッコウガタ ラジカルゲン オ モチイタ ハクマクカ ギジュツ ニカンスル ケンキュウ : ヘイセイ 3 6ネンド ムキ ザイシツ トクベツ ケンキュウ
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1130282269524220800
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- NII書誌ID
- BB06635935
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- 本文言語コード
- ja
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- 出版国コード
- ja
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- タイトル言語コード
- ja
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- 出版地
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- つくば市
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- データソース種別
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- CiNii Books