Flatness, roughness, and discrete defect characterization for computer disks, wafers, and flat panel displays : 8-9 August 1996, Denver, Colorado

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書誌事項

タイトル
"Flatness, roughness, and discrete defect characterization for computer disks, wafers, and flat panel displays : 8-9 August 1996, Denver, Colorado"
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John C. Stover, chair/editor
出版者
  • SPIE-The International Society for Optical Engineering
出版年月
  • c1996
書籍サイズ
28 cm

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注記

Includes bibliographical references and index

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