書誌事項
- タイトル
- "Mechanical microsensors"
- 責任表示
- M. Elwenspoek, R. Wiegerink
- 出版者
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- Springer-Verlag
- 出版年月
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- c2001
- 書籍サイズ
- 25 cm
- シリーズ名/番号
-
- : gw
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注記
"Physics and Astronomy online library"--Half t.p
Includes bibliographical references (p. [274]-290) and index
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1130282269621806848
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- NII書誌ID
- BA51428020
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- ISBN
- 3540675825
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- LCCN
- 00057363
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- Web Site
- https://lccn.loc.gov/00057363
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- 本文言語コード
- en
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- 出版国コード
- gw
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- タイトル言語コード
- en
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- 出版地
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- Berlin
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- 分類
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- LCC: TK7875.E49
- DC21: 681/.2
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- 件名
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- LCSH: Detectors -- Design and construction
- LCSH: Microelectromechanical systems -- Design and construction
- LCSH: Transducers
- LCSH: Silicon
- LCSH: Micromachining
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- データソース種別
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- CiNii Books