ULSI process integration 7
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書誌事項
- タイトル
- "ULSI process integration 7"
- 責任表示
- editors, C. Claeys ... [et al.] ; sponsoring divisions, Electronics and Photonics
- 出版者
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- Electrochemical Society
- 出版年月
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- c2011
- 書籍サイズ
- 23 cm
- シリーズ名/番号
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- : hardcover
- タイトル別名
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- Dielectric and semiconductor materials, devices, and processing
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注記
Includes bibliographical references and index
"The issue of ECS Transactions includes papers that were presented at the Seventh Symposium on ULSI Process Integration held in Boston, MA at the 220th Meeting of the Electrochemical Society, October 9-14, 2011." -- preface
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1130282269627964928
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- NII書誌ID
- BB07417317
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- ISBN
- 9781566779074
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- 本文言語コード
- en
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- 出版国コード
- us
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- タイトル言語コード
- en
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- 出版地
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- Pennington, N.J.
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- データソース種別
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- CiNii Books