ULSI process integration 7

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書誌事項

タイトル
"ULSI process integration 7"
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editors, C. Claeys ... [et al.] ; sponsoring divisions, Electronics and Photonics
出版者
  • Electrochemical Society
出版年月
  • c2011
書籍サイズ
23 cm
シリーズ名/番号
  • : hardcover
タイトル別名
  • Dielectric and semiconductor materials, devices, and processing

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注記

Includes bibliographical references and index

"The issue of ECS Transactions includes papers that were presented at the Seventh Symposium on ULSI Process Integration held in Boston, MA at the 220th Meeting of the Electrochemical Society, October 9-14, 2011." -- preface

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詳細情報 詳細情報について

  • CRID
    1130282269627964928
  • NII書誌ID
    BB07417317
  • ISBN
    9781566779074
  • 本文言語コード
    en
  • 出版国コード
    us
  • タイトル言語コード
    en
  • 出版地
    • Pennington, N.J.
  • データソース種別
    • CiNii Books
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