11th Annual Symposium on Photomask Technology : September 25-27, 1991, Sunnyvale, California
書誌事項
- タイトル
- "11th Annual Symposium on Photomask Technology : September 25-27, 1991, Sunnyvale, California"
- 責任表示
- sponsored by BACUS--the International Technical Group of SPIE dedicated to the advancement of photomask technology
- 出版者
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- SPIE
- 出版年月
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- c1992
- 書籍サイズ
- 28 cm
- タイトル別名
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- Eleventh Annual Symposium on Photomask Technology
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注記
Includes bibliographical references and index
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1130282269670493952
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- NII書誌ID
- BA26322083
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- ISBN
- 081940733X
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- LCCN
- 91068116
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- Web Site
- https://lccn.loc.gov/91068116
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- 本文言語コード
- en
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- 出版国コード
- us
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- タイトル言語コード
- en
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- 出版地
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- Bellingham, Wash.
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- データソース種別
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- CiNii Books