Micromachining and microfabrication process technology VII : 22-24 October 2001, San Francisco, USA
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書誌事項
- タイトル
- "Micromachining and microfabrication process technology VII : 22-24 October 2001, San Francisco, USA"
- 責任表示
- Jean Michel Karam, John Yasaitis, chair/editor ; sponsored and published by SPIE--The International Society of Optical Engineering ; cooperationg organizations, Semiconductor Equipment and Materials International (USA) ... [et al.]
- 出版者
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- SPIE
- 出版年月
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- c2001
- 書籍サイズ
- 28 cm
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注記
Includes bibliographical references and index
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1130282269731500544
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- NII書誌ID
- BA59252890
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- ISBN
- 0819442852
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- 本文言語コード
- en
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- 出版国コード
- us
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- タイトル言語コード
- en
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- 出版地
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- Bellingham, Wash.
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- 分類
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- LCC: TJ1191.5
- DC21: 621.3815/2
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- データソース種別
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- CiNii Books