Materials science of microelectromechanical systems (MEMS) devices III : symposium held November 27-28, 2000, Boston, Massachusetts, U.S.A.

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書誌事項

タイトル
"Materials science of microelectromechanical systems (MEMS) devices III : symposium held November 27-28, 2000, Boston, Massachusetts, U.S.A."
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editors, Harold Kahn ... [et al.]
出版者
  • Materials Research Society
出版年月
  • c2001
書籍サイズ
24 cm
タイトル別名
  • Materials science of microelectromechanical systems (MEMS) devices 3

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Includes bibliographical references and indexes

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詳細情報 詳細情報について

  • CRID
    1130282269789116160
  • NII書誌ID
    BA54946961
  • ISBN
    1558995676
  • LCCN
    01044289
  • Web Site
    https://lccn.loc.gov/01044289
  • 本文言語コード
    en
  • 出版国コード
    us
  • タイトル言語コード
    en
  • 出版地
    • Warrendale, Pa.
  • データソース種別
    • CiNii Books
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