化学気相成長法による薄膜製造の高効率化
CiNii
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書誌事項
- タイトル
- "化学気相成長法による薄膜製造の高効率化"
- 責任表示
- 研究代表者 滝本昭
- 出版者
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- [滝本昭]
- 出版年月
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- 1993
- 書籍サイズ
- 30cm
- タイトル別名
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- カガク キソウ セイチョウホウ ニ ヨル ハクマク セイゾウ ノ コウコウリツカ
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注記
課題番号:03650177
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1130282269925648256
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- NII書誌ID
- BN09446693
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- 本文言語コード
- ja
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- 出版国コード
- ja
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- タイトル言語コード
- ja
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- 出版地
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- [金沢]
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- データソース種別
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- CiNii Books
