Tungsten and other advanced metals for VLSI/ULSI application V : proceedings of the 1989 workshop held September 20-21, 1989, San Mateo, California, U.S.A.
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書誌事項
- タイトル
- "Tungsten and other advanced metals for VLSI/ULSI application V : proceedings of the 1989 workshop held September 20-21, 1989, San Mateo, California, U.S.A."
- 責任表示
- editors, S. Simon Wong, Seijiro Furukawa ; associate editors, Roc Blumenthal ... [et al.] ; sponsored by Continuing Education in Engineering, University Extension, University of Calfornia, Berkeley, and October 19-20, 1989, Tokyo, Japan, sponsored by the Japan Society of Applied Physics
- 出版者
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- Materials Research Society
- 出版年月
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- c1990
- 書籍サイズ
- 24 cm
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注記
Includes bibliography and index
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1130282270087650176
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- NII書誌ID
- BA10979941
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- ISBN
- 1558990682
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- 本文言語コード
- en
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- 出版国コード
- us
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- タイトル言語コード
- en
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- 出版地
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- Pittsburgh, Pa
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- データソース種別
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- CiNii Books