Micromachining and microfabrication process technology III : 29-30 September, 1997, Austin, Texas
書誌事項
- タイトル
- "Micromachining and microfabrication process technology III : 29-30 September, 1997, Austin, Texas"
- 責任表示
- Shih-Chia Chang, Stella W. Pang, chairs/editors ; sponsored by SPIE--the International Society for Optical Engineering, SEMI--Semiconductor Equipment and Materials International, [and] NIST--National Institute of Standards and Technology ; cooperating organization, Solid State Technology
- 出版者
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- SPIE
- 出版年月
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- c1997
- 書籍サイズ
- 28 cm
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注記
Includes bibliographical references and index
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1130282270157768960
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- NII書誌ID
- BA61051858
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- ISBN
- 0819426555
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- LCCN
- 98122577
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- Web Site
- https://lccn.loc.gov/98122577
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- 出版国コード
- us
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- タイトル言語コード
- en
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- 出版地
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- Bellingham, Wash.
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- 分類
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- LCC: TJ1191.5
- DC21: 621.3815/2
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- データソース種別
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- CiNii Books