Micromachining and microfabrication process technology III : 29-30 September, 1997, Austin, Texas

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タイトル
"Micromachining and microfabrication process technology III : 29-30 September, 1997, Austin, Texas"
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Shih-Chia Chang, Stella W. Pang, chairs/editors ; sponsored by SPIE--the International Society for Optical Engineering, SEMI--Semiconductor Equipment and Materials International, [and] NIST--National Institute of Standards and Technology ; cooperating organization, Solid State Technology
出版者
  • SPIE
出版年月
  • c1997
書籍サイズ
28 cm

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注記

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