Semiconductor materials and process technology handbook : for very large scale integration (VLSI) and ultra large scale integration (ULSI)
書誌事項
- タイトル
- "Semiconductor materials and process technology handbook : for very large scale integration (VLSI) and ultra large scale integration (ULSI)"
- 責任表示
- edited by Gary E. McGuire
- 出版者
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- Noyes Publications
- 出版年月
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- c1988
- 書籍サイズ
- 25 cm
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注記
Includes bibliographies and index
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1130282270239181440
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- NII書誌ID
- BA0500408X
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- ISBN
- 0815511507
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- LCCN
- 87031529
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- Web Site
- https://lccn.loc.gov/87031529
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- 本文言語コード
- en
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- 出版国コード
- us
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- タイトル言語コード
- en
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- 出版地
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- Park Ridge, N.J., U.S.A.
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- データソース種別
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- CiNii Books