Defects in high-κ gate dielectric stacks : nano-electronic semiconductor devices
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書誌事項
- タイトル
- "Defects in high-κ gate dielectric stacks : nano-electronic semiconductor devices"
- 責任表示
- edited by Evgeni Gusev
- 出版者
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- Springer
- 出版年月
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- c2006
- 書籍サイズ
- 25 cm
- シリーズ名/番号
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- : pbk
- タイトル別名
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- Defects in high-k gate dielectric stacks
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注記
"Proceedings of the NATO Advanced Research Workshop on Defects in Advanced High-k Dielectric Nano-electronic Semiconductor Devices, St. Petersburg, Russia, July 11-14 2005"--T.p. verso
Includes bibliographical references and indexes
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1130282270352521600
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- NII書誌ID
- BA76681554
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- ISBN
- 1402043651
- 140204366X
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- 本文言語コード
- en
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- 出版国コード
- ne
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- タイトル言語コード
- en
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- 出版地
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- Dordrecht
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- 分類
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- LCC: MLCM 2006/40167 (T)
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- データソース種別
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- CiNii Books