Defects in high-κ gate dielectric stacks : nano-electronic semiconductor devices

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書誌事項

タイトル
"Defects in high-κ gate dielectric stacks : nano-electronic semiconductor devices"
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edited by Evgeni Gusev
出版者
  • Springer
出版年月
  • c2006
書籍サイズ
25 cm
シリーズ名/番号
  • : pbk
タイトル別名
  • Defects in high-k gate dielectric stacks

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注記

"Proceedings of the NATO Advanced Research Workshop on Defects in Advanced High-k Dielectric Nano-electronic Semiconductor Devices, St. Petersburg, Russia, July 11-14 2005"--T.p. verso

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