Proceedings of the Symposium on Process Physics and Modeling in Semiconductor Technology
書誌事項
- タイトル
- "Proceedings of the Symposium on Process Physics and Modeling in Semiconductor Technology"
- 責任表示
- edited by G.R. Srinivasan, J. Plummer, D. Antoniadis ; [sponsored by] Electronics and Dielectrics and Insulation Divisions
- 出版者
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- Electrochemical Society
- 出版年月
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- c1988
- 書籍サイズ
- 23 cm
- タイトル別名
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- Process physics and modeling in semiconductor technology
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注記
Includes bibliographical references and indexes
"... held in San Diego, California, October 19-24, 1986, and at the General Session of the ECS 170th meeting" -- on pref
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1130282270413936384
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- NII書誌ID
- BA84979904
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- LCCN
- 88082250
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- Web Site
- https://lccn.loc.gov/88082250
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- 本文言語コード
- en
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- 出版国コード
- us
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- タイトル言語コード
- en
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- 出版地
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- Pennington, NJ
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- 分類
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- LCC: TK7871.85
- DC20: 621.381/52/011
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- データソース種別
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- CiNii Books