Surface chemical cleaning and passivation for semiconductor processing

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書誌事項

タイトル
"Surface chemical cleaning and passivation for semiconductor processing"
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editors, Gregg S. Higashi, Eugene A. Irene, Tadahiro Ohmi
出版者
  • Materials Research Society
出版年月
  • 1993
書籍サイズ
24 cm

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注記

Symposium Y held during the 1993 Spring Meeting of the Materials Research Society, in San Francisco from April 13-15, 1993

Includes bibliographical references and index

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