銅薄膜自己維持スパッタによる高エレクトロマイグレーション耐性多層配線の研究
CiNii
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書誌事項
- タイトル
- "銅薄膜自己維持スパッタによる高エレクトロマイグレーション耐性多層配線の研究"
- 責任表示
- 研究代表者 新宮原正三
- 出版者
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- [新宮原正三]
- 出版年月
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- 1999.10
- 書籍サイズ
- 30cm
- タイトル別名
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- ドウハクマク ジコ イジ スパッタ ニヨル コウ エレクトロ マイグレーション タイセイ タソウ ハイセン ノ ケンキュウ
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注記
研究課題番号: 08555076
研究代表者: 新宮原正三(広島大学工学部助教授)
研究分担者: 高萩隆行, 坂上弘之, 吉川公麿
参考文献リスト: p61
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1130282270476323840
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- NII書誌ID
- BB28715765
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- 出版国コード
- ja
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- タイトル言語コード
- ja
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- 出版地
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- [東広島]
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- データソース種別
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- CiNii Books
