気体分離配線構造を有するTaゲート金属基板SOI超高速超微細LSIの開発

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書誌事項

タイトル
"気体分離配線構造を有するTaゲート金属基板SOI超高速超微細LSIの開発"
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研究代表者 大見忠弘
出版者
  • [大見忠弘]
出版年月
  • 2002.3
書籍サイズ
30cm
タイトル別名
  • キタイ ブンリ ハイセン コウゾウ オ ユウスル TA ゲート キンゾク キバン SOI チョウコウソク チョウビサイ LSI ノ カイハツ

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注記

研究分担者: 須川成利, 小谷光司, 平山昌樹

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詳細情報 詳細情報について

  • CRID
    1130282270578302848
  • NII書誌ID
    BB06298358
  • 出版国コード
    ja
  • タイトル言語コード
    ja
  • 出版地
    • [仙台]
  • データソース種別
    • CiNii Books
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