Mechanical properties of CMOS thin films : a thesis submitted to the Swiss Federal Institute of Technology Zurich for the degree of doctor of natural sciences
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書誌事項
- タイトル
- "Mechanical properties of CMOS thin films : a thesis submitted to the Swiss Federal Institute of Technology Zurich for the degree of doctor of natural sciences"
- 責任表示
- presented by Volker Ziebart
- 出版者
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- Hartung-Gorre
- 出版年月
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- 1999
- 書籍サイズ
- 24 cm
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1130282270739796992
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- NII書誌ID
- BB27574238
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- ISBN
- 3896495194
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- 本文言語コード
- en
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- 出版国コード
- gw
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- タイトル言語コード
- en
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- 出版地
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- Konstanz
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- データソース種別
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- CiNii Books