MOEMS and Miniaturized systems II : 22-24 October 2001, San Francisco, USA
CiNii
所蔵館 2館
書誌事項
- タイトル
- "MOEMS and Miniaturized systems II : 22-24 October 2001, San Francisco, USA"
- 責任表示
- M. Edward Motamedi, Rolf Göring, chairs/editors ; sponsored and published by SPIE--the International Society for Optical Engineering ; cooperating organization, SEMI--Semiconductor Equipment and Materials International (USA) ... [et al.]
- 出版者
-
- SPIE
- 出版年月
-
- c2001
- 書籍サイズ
- 28 cm
この図書・雑誌をさがす
注記
Includes bibliographical references and index
- Tweet
詳細情報 詳細情報について
-
- CRID
- 1130282270765523456
-
- NII書誌ID
- BA59272005
-
- ISBN
- 0819442895
-
- 本文言語コード
- en
-
- 出版国コード
- us
-
- タイトル言語コード
- en
-
- 出版地
-
- Bellingham, Wash.
-
- データソース種別
-
- CiNii Books