CMOS cantilever sensor systems : atomic force microscopy and gas sensing applications

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書誌事項

タイトル
"CMOS cantilever sensor systems : atomic force microscopy and gas sensing applications"
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D. Lange, O. Brand, H. Baltes
出版者
  • Springer-Verlag
出版年月
  • c2002
書籍サイズ
25 cm

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注記

Includes bibliographical references (p. [131]-140) and index

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詳細情報 詳細情報について

  • CRID
    1130282270775959296
  • NII書誌ID
    BA60423276
  • ISBN
    3540431438
  • 本文言語コード
    en
  • 出版国コード
    gw
  • タイトル言語コード
    en
  • 出版地
    • Berlin
  • データソース種別
    • CiNii Books
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