Micromachining and microfabrication process technology : 23-24 October, 1995, Austin, Texas

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タイトル
"Micromachining and microfabrication process technology : 23-24 October, 1995, Austin, Texas"
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Karen W. Markus, chair/editor ; sponsored by SEMI--Semiconductor Equipment and Materials International, NIST--National Institute of Standards and Technology, SPIE--The International Society of Optical Engineering
出版者
  • SPIE
出版年月
  • c1995
書籍サイズ
28 cm

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注記

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