Spectroscopic characterization techniques for semiconductor technology : 9-10 November 1983, Cambridge, Massachusetts
書誌事項
- タイトル
- "Spectroscopic characterization techniques for semiconductor technology : 9-10 November 1983, Cambridge, Massachusetts"
- 責任表示
- Fred H. Pollak, Robert S. Bauer, chairmen/editors
- 出版者
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- SPIE -- the International Society for Optical Engineering
- 出版年月
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- c1984
- 書籍サイズ
- 28 cm
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1130282271119977472
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- NII書誌ID
- BA23978941
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- ISBN
- 0892524871
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- LCCN
- 83051560
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- Web Site
- https://lccn.loc.gov/83051560
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- 本文言語コード
- en
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- 出版国コード
- us
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- タイトル言語コード
- en
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- 出版地
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- Bellingham, Wash.
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- データソース種別
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- CiNii Books