書誌事項
- タイトル
- "Introduction to microelectronic fabrication"
- 責任表示
- Richard C. Jaeger
- 出版者
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- Addison-Wesley Pub. Co.
- 出版年月
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- 1993, c1988
- 書籍サイズ
- 24 cm
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注記
"Reprinted with corrections May, 1993."--T.p. verso
Includes bibliographical references and index
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1130282271169044864
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- NII書誌ID
- BA26303180
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- ISBN
- 0201146959
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- LCCN
- 86022128
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- Web Site
- https://lccn.loc.gov/86022128
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- 本文言語コード
- en
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- 出版国コード
- us
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- タイトル言語コード
- en
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- 出版地
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- Reading, Mass. ; Tokyo
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- 分類
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- LCC: TK7874
- DC19: 621.381/73
- NDC8: 549.8
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- データソース種別
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- CiNii Books