高周波スパッタ蒸着法による多結晶半導体およびダイヤモンド薄膜の低温成膜
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書誌事項
- タイトル
- "高周波スパッタ蒸着法による多結晶半導体およびダイヤモンド薄膜の低温成膜"
- 責任表示
- 研究代表者 芳井熊安
- 出版者
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- 大阪大学工学部
- 出版年月
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- 1997.4
- 書籍サイズ
- 30 cm
- タイトル別名
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- コウシュウハ スパッタ ジョウチャクホウ ニ ヨル タケッショウ ハンドウタイ オヨビ ダイヤモンド ハクマク ノ テイオン セイマク
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注記
課題番号: 07455065
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1130282271175439872
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- NII書誌ID
- BB26663128
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- 本文言語コード
- ja
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- 出版国コード
- ja
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- タイトル言語コード
- ja
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- 出版地
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- [吹田]
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- データソース種別
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- CiNii Books