13th Annual Symposium on Photomask Technology and Management : 22-23 September 1993, Santa Clara, California
書誌事項
- タイトル
- "13th Annual Symposium on Photomask Technology and Management : 22-23 September 1993, Santa Clara, California"
- 責任表示
- sponsored by BACUS--the International Technical Group of SPIE dedicated to the advancement of photomask technology
- 出版者
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- SPIE
- 出版年月
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- c1994
- 書籍サイズ
- 28 cm
- シリーズ名/番号
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- pbk.
- タイトル別名
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- Thirteenth Annual Symposium on Photomask Technology and Management
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1130282271185120384
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- NII書誌ID
- BA24472063
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- ISBN
- 0819413569
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- LCCN
- 93086691
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- Web Site
- https://lccn.loc.gov/93086691
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- 本文言語コード
- en
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- 出版国コード
- us
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- タイトル言語コード
- en
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- 出版地
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- Bellingham, Wash.
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- 分類
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- LCC: TK7874
- DC20: 621.3815/31
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- データソース種別
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- CiNii Books