液体原料気化CVD法による誘電体薄膜の製造とプロセスシミュレータの開発
CiNii
所蔵館 1館
書誌事項
- タイトル
- "液体原料気化CVD法による誘電体薄膜の製造とプロセスシミュレータの開発"
- 責任表示
- 研究代表者 奥山喜久夫
- 出版者
-
- 広島大学大学院工学研究科
- 出版年月
-
- 2003.3
- 書籍サイズ
- 30cm
- タイトル別名
-
- エキタイ ゲンリョウ キカ CVDホウ ニ ヨル ユウデンタイ ハクマク ノ セイゾウ ト プロセスシミュレータ ノ カイハツ
この図書・雑誌をさがす
注記
課題番号: 12450319
- Tweet
詳細情報 詳細情報について
-
- CRID
- 1130282271192620160
-
- NII書誌ID
- BA65186542
-
- 出版国コード
- ja
-
- タイトル言語コード
- ja
-
- 出版地
-
- 東広島
-
- データソース種別
-
- CiNii Books