Laser processing of thin films and microstructures : oxidation, deposition and etching of insulators
書誌事項
- タイトル
- "Laser processing of thin films and microstructures : oxidation, deposition and etching of insulators"
- 責任表示
- Ian W. Boyd
- 出版者
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- Springer-Verlag
- 出版年月
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- c1987
- 書籍サイズ
- 24 cm
- シリーズ名/番号
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- : U.S.
- : Germany
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注記
Bibliography: p. 287-313
Includes index
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1130282271311947264
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- NII書誌ID
- BA01434688
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- ISBN
- 0387179518
- 3540179518
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- LCCN
- 87020660
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- Web Site
- https://lccn.loc.gov/87020660
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- 本文言語コード
- en
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- 出版国コード
- gw
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- タイトル言語コード
- en
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- 出版地
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- Berlin ; New York
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- 件名
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- データソース種別
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- CiNii Books