ラングミュア吸着・反応制御プロセスを駆使して製作するIV族半導体極微細デバイス

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Bibliographic Information

Title
"ラングミュア吸着・反応制御プロセスを駆使して製作するIV族半導体極微細デバイス"
Statement of Responsibility
室田淳一研究代表者
Publisher
  • [室田淳一]
Publication Year
  • 1999.3
Book size
30cm
Other Title
  • ラングミュア キュウチャク・ハンノウ セイギョ プロセス オ クシ シテ セイサク スル IVゾク ハンドウタイ キョクビサイ デバイス
  • 平成8-10年度科学研究費補助金(基盤研究(A)(2))研究成果報告書(研究課題番号08405022)

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Details 詳細情報について

  • CRID
    1130282271328757632
  • NII Book ID
    BB02860805
  • Country Code
    ja
  • Title Language Code
    ja
  • Place of Publication
    • [仙台]
  • Data Source
    • CiNii Books
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