ラングミュア吸着・反応制御プロセスを駆使して製作するIV族半導体極微細デバイス
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書誌事項
- タイトル
- "ラングミュア吸着・反応制御プロセスを駆使して製作するIV族半導体極微細デバイス"
- 責任表示
- 室田淳一研究代表者
- 出版者
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- [室田淳一]
- 出版年月
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- 1999.3
- 書籍サイズ
- 30cm
- タイトル別名
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- ラングミュア キュウチャク・ハンノウ セイギョ プロセス オ クシ シテ セイサク スル IVゾク ハンドウタイ キョクビサイ デバイス
- 平成8-10年度科学研究費補助金(基盤研究(A)(2))研究成果報告書(研究課題番号08405022)
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1130282271328757632
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- NII書誌ID
- BB02860805
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- 出版国コード
- ja
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- タイトル言語コード
- ja
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- 出版地
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- [仙台]
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- データソース種別
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- CiNii Books