Advances in resist technology and processing XIV : 10-12 March 1997, Santa Clara, California
CiNii
所蔵館 1館
書誌事項
- タイトル
- "Advances in resist technology and processing XIV : 10-12 March 1997, Santa Clara, California"
- 責任表示
- Régine G. Tarascon-Auriol chair/editor ; sponsored and published by SPIE--the International Society for Optical Engineering ; cooperating organizations, SEMI--Semiconductor Equipment and Materials International, SEMATECH
- 出版者
-
- SPIE
- 出版年月
-
- c1997
- 書籍サイズ
- 28 cm
この図書・雑誌をさがす
注記
Includes bibliographical references and index
- Tweet
詳細情報 詳細情報について
-
- CRID
- 1130282271342155648
-
- NII書誌ID
- BA85952051
-
- ISBN
- 0819424633
-
- 本文言語コード
- en
-
- 出版国コード
- us
-
- タイトル言語コード
- en
-
- 出版地
-
- Bellingham, Wash., USA
-
- データソース種別
-
- CiNii Books