移動マスクX線加工法を用いたマイクロ3次元構造加工システム開発に関する研究

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Bibliographic Information

Title
"移動マスクX線加工法を用いたマイクロ3次元構造加工システム開発に関する研究"
Statement of Responsibility
研究代表者 杉山進
Publisher
  • [杉山進]
Publication Year
  • 2003.3
Book size
30cm
Other Title
  • イドウ マスク Xセン カコウホウ オ モチイタ マイクロ 3ジゲン コウゾウ カコウ システム カイハツ ニ カンスル ケンキュウ
  • 移動マスクX線加工法を用いたマイクロ三次元構造加工システム開発に関する研究

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Notes

参考文献あり

課題番号: 12355008

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Details 詳細情報について

  • CRID
    1130282271350742272
  • NII Book ID
    BA63090759
  • Country Code
    xx
  • Title Language Code
    ja
  • Place of Publication
    • [出版地不明]
  • Data Source
    • CiNii Books
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