移動マスクX線加工法を用いたマイクロ3次元構造加工システム開発に関する研究
CiNii
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書誌事項
- タイトル
- "移動マスクX線加工法を用いたマイクロ3次元構造加工システム開発に関する研究"
- 責任表示
- 研究代表者 杉山進
- 出版者
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- [杉山進]
- 出版年月
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- 2003.3
- 書籍サイズ
- 30cm
- タイトル別名
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- イドウ マスク Xセン カコウホウ オ モチイタ マイクロ 3ジゲン コウゾウ カコウ システム カイハツ ニ カンスル ケンキュウ
- 移動マスクX線加工法を用いたマイクロ三次元構造加工システム開発に関する研究
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注記
参考文献あり
課題番号: 12355008
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1130282271350742272
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- NII書誌ID
- BA63090759
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- 出版国コード
- xx
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- タイトル言語コード
- ja
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- 出版地
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- [出版地不明]
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- データソース種別
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- CiNii Books