流動層粒子循環系を用いた多結晶シリコン製造プロセスの開発
CiNii
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書誌事項
- タイトル
- "流動層粒子循環系を用いた多結晶シリコン製造プロセスの開発"
- 責任表示
- 阿尻雅文研究代表者
- 出版者
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- [阿尻雅文]
- 出版年月
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- 1990.3
- 書籍サイズ
- 26cm
- タイトル別名
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- リュウドウソウ リュウシ ジュンカンケイ オ モチイタ タケッショウ シリコン セイゾウ プロセス ノ カイハツ
- 昭和63, 平成元年度科学研究費補助金(試験(1))研究成果報告書 : (研究課題番号 63850187)
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注記
課題番号: 63850187
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1130282271376122880
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- NII書誌ID
- BB12363818
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- 出版国コード
- ja
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- タイトル言語コード
- ja
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- 出版地
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- [仙台]
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- データソース種別
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- CiNii Books
