Microelectronic structures and MEMS for optical processing II : 14-15 October 1996, Austin, Texas

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タイトル
"Microelectronic structures and MEMS for optical processing II : 14-15 October 1996, Austin, Texas"
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M. Edward Motamedi, Wayne Bailey, chairs/editors ; sponsored by SPIE--the International Society for Optical Engineering, SEMI--Semiconductor Equipment and Materials International, NIST--National Institute of Standards and Technology
出版者
  • SPIE
出版年月
  • 1996
書籍サイズ
28 cm
シリーズ名/番号
  • pbk.

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注記

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