Optical/laser microlithography : 3-5 March 1993, San Jose, California

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書誌事項

タイトル
"Optical/laser microlithography : 3-5 March 1993, San Jose, California"
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John D. Cuthbert Chair/editor ; sponsored by SPIE--the International Society for Optical Engineering
出版者
  • SPIE
出版年月
  • c1993
書籍サイズ
28 cm
シリーズ名/番号
  • pt. 1

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注記

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詳細情報 詳細情報について

  • CRID
    1130282271481774336
  • NII書誌ID
    BA27107315
  • ISBN
    0819411612
  • LCCN
    93084068
  • Web Site
    https://lccn.loc.gov/93084068
  • 本文言語コード
    en
  • 出版国コード
    us
  • タイトル言語コード
    en
  • 出版地
    • Bellingham, Wash., USA
  • データソース種別
    • CiNii Books
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