Developments in semiconductor microlithography, June 1-3, 1976, San Jose, California
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書誌事項
- タイトル
- "Developments in semiconductor microlithography, June 1-3, 1976, San Jose, California"
- 責任表示
- Donald E. Routh ... [et al.], editors ; presented by the Society of Photo-optical Instrumentation Engineers and the Northern California Microphotomask/Masking Working Group, in cooperation with National Aeronautics and Space Administration, International Society for Hybrid Microelectronics
- 出版者
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- Society of Photo-optical Instrumentation Engineers
- 出版年月
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- c1976
- 書籍サイズ
- 28 cm
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注記
Includes bibliographical references and indexes
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1130282271489119488
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- NII書誌ID
- BA23913119
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- ISBN
- 0892521074
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- 本文言語コード
- en
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- 出版国コード
- us
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- タイトル言語コード
- en
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- 出版地
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- Palos Verdes Estates, Calif.
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- 分類
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- LCC: TK7871.85
- DC: 621.381/74
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- 件名
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- データソース種別
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- CiNii Books