Cleaning Technology in Semiconductor Device Manufacturing IX

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書誌事項

タイトル
"Cleaning Technology in Semiconductor Device Manufacturing IX"
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editors, J. Ruzyllo ... [et al.] ; sponsoring divisions, Electronics and Photonics, Dielectric Science and Technology
出版者
  • Electrochemical Society
出版年月
  • c2005
書籍サイズ
24 cm

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注記

"... held during the Fall Meeting of the Electrochemical Society in Los Angeles, California in October 2005." -- on pref.

Includes bibliographical references and indexes

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詳細情報 詳細情報について

  • CRID
    1130282271804674304
  • NII書誌ID
    BA81681826
  • ISBN
    1566774292
  • LCCN
    2005930731
  • Web Site
    https://lccn.loc.gov/2005930731
  • 本文言語コード
    en
  • 出版国コード
    us
  • タイトル言語コード
    en
  • 出版地
    • Pennington, NJ
  • データソース種別
    • CiNii Books
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