Advanced processing of semiconductor devices : 23-25 March 1987, Bay Point, Florida
書誌事項
- タイトル
- "Advanced processing of semiconductor devices : 23-25 March 1987, Bay Point, Florida"
- 責任表示
- Sayan D. Mukherjee, editor ; sponsored by SPIE--the International Society for Optical Engineering ; cooperating sponsor, the Metallurgical Society
- 出版者
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- SPIE
- 出版年月
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- c1987
- 書籍サイズ
- 28 cm
- シリーズ名/番号
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- pbk.
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注記
Includes biblographies
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1130282271846512768
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- NII書誌ID
- BA13205280
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- ISBN
- 089252832X
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- LCCN
- 87061010
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- Web Site
- https://lccn.loc.gov/87061010
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- 本文言語コード
- en
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- 出版国コード
- us
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- タイトル言語コード
- en
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- 出版地
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- Bellingham, Wash., USA
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- 分類
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- LCC: TK7871.85
- DC19: 621.3815/2
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- データソース種別
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- CiNii Books