Gas-phase and surface chemistry in electronic materials processing : symposium held November 29-December 2, 1993, Boston, Massachusetts, U.S.A.

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タイトル
"Gas-phase and surface chemistry in electronic materials processing : symposium held November 29-December 2, 1993, Boston, Massachusetts, U.S.A."
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editors, T.J. Mountziaris ... [et al.]
出版者
  • Materials Research Society
出版年月
  • c1994
書籍サイズ
24 cm

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注記

Sponsors: Army Research Office, Office of Naval Research

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