書誌事項
- タイトル
- "Plasma processing XIV : proceedings of the international symposium"
- 責任表示
- editor, G.S. Mathad ; assistant editors, M.D. Allendorf, R.E. Sah, M. Yang ; sponsoring divisions, Dielectric Science and Technology and Electronics
- 出版者
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- Electrochemical Society
- 出版年月
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- c2002
- 書籍サイズ
- 24 cm
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注記
Includes bibliographical references and indexes
"The symposium, cosponsored by the Dielectric Science & Technology and Electronics divisions, was held as part of the 201st Centennial Meeting of The Electrochemical Society, Inc., in Philadelphia, PA, May 12-17, 2002"--on pref
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1130282271993243520
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- NII書誌ID
- BA60593447
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- ISBN
- 1566773415
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- LCCN
- 2002112473
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- Web Site
- https://lccn.loc.gov/2002112473
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- 本文言語コード
- en
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- 出版国コード
- us
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- タイトル言語コード
- en
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- 出版地
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- Pennington, N.J.
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- データソース種別
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- CiNii Books
