Gettering and deffect engineering in semiconductor technology : GADEST '95 : proceedings of the 6th International Autumn Meeting, held in Parkhotel Schloß Wulkow, near Berlin, Germany, September 02-07, 1995
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書誌事項
- タイトル
- "Gettering and deffect engineering in semiconductor technology : GADEST '95 : proceedings of the 6th International Autumn Meeting, held in Parkhotel Schloß Wulkow, near Berlin, Germany, September 02-07, 1995"
- 責任表示
- editors, H. Richter, M. Kittler and C. Claeys
- 出版者
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- SciTec Publications
- 出版年月
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- 1995
- 書籍サイズ
- 25 cm
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注記
Includes bibliographical references and index
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1130282272030028928
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- NII書誌ID
- BA26129913
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- ISBN
- 390845011X
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- 本文言語コード
- en
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- 出版国コード
- sz
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- タイトル言語コード
- en
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- 出版地
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- Untermuhleweg, Switzerland
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- データソース種別
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- CiNii Books
