MEMS : design and fabrication

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書誌事項

タイトル
"MEMS : design and fabrication"
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edited by Mohamed Gad-el-Hak
出版者
  • CRC, Taylor & Francis
出版年月
  • 2006
書籍サイズ
26 cm
シリーズ名/番号
  • : hardcover

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注記

The MEMS handbook, 2nd ed

"A CRC Press book"--Back cover

Includes bibliographical references and index

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