Silicon nitride, silicon dioxide, and emerging dielectrics 9
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書誌事項
- タイトル
- "Silicon nitride, silicon dioxide, and emerging dielectrics 9"
- 責任表示
- editors, R. Ekwal Sah ... [et al.]
- 出版者
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- Electrochemical Society
- 出版年月
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- c2007
- 書籍サイズ
- 23 cm
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注記
"... contains the proceedings of the Symposium on Silicon Nitride, Silicon Dioxide Thin Insulating Films, and Emerging Dielectrics to be held May 6-11, 2007 in Chicago as a part of the 211th Meeting of The Electrochemical Society (ECS)"--on pref.
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1130282272487441152
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- NII書誌ID
- BA82032137
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- ISBN
- 9781566775526
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- 本文言語コード
- en
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- 出版国コード
- us
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- タイトル言語コード
- en
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- 出版地
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- Pennington, N.J.
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- データソース種別
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- CiNii Books