Photomask and X-ray mask technology : 22 April 1994, Kawasaki City, Kanagawa, Japan

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書誌事項

タイトル
"Photomask and X-ray mask technology : 22 April 1994, Kawasaki City, Kanagawa, Japan"
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Hideo Yoshihara, chair/editor ; sponsored by Japan Chapter of SPIE ; cosponsored by BACUS, SPIE--the International Society for Optical Engineering
出版者
  • SPIE
出版年月
  • c1994
書籍サイズ
28 cm

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注記

"Papers presented at Photomask Japan '94 held at the Kanagawa Science Park in Kawasaki, Japan, on 22 April 1994"--P. ix

Includes bibliographical references and index

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