Photomask and X-ray mask technology : 22 April 1994, Kawasaki City, Kanagawa, Japan
書誌事項
- タイトル
- "Photomask and X-ray mask technology : 22 April 1994, Kawasaki City, Kanagawa, Japan"
- 責任表示
- Hideo Yoshihara, chair/editor ; sponsored by Japan Chapter of SPIE ; cosponsored by BACUS, SPIE--the International Society for Optical Engineering
- 出版者
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- SPIE
- 出版年月
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- c1994
- 書籍サイズ
- 28 cm
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注記
"Papers presented at Photomask Japan '94 held at the Kanagawa Science Park in Kawasaki, Japan, on 22 April 1994"--P. ix
Includes bibliographical references and index
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1130282272521608320
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- NII書誌ID
- BA29150665
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- ISBN
- 0819415634
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- LCCN
- 94065772
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- Web Site
- https://lccn.loc.gov/94065772
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- 本文言語コード
- en
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- 出版国コード
- us
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- タイトル言語コード
- en
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- 出版地
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- Bellingham, Wash.
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- 分類
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- LCC: TK7874
- DC20: 621.3815/31
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- データソース種別
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- CiNii Books