Design, test, and microfabrication of MEMS and MOEMS : 30 March-1 April 1999, Paris, France

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タイトル
"Design, test, and microfabrication of MEMS and MOEMS : 30 March-1 April 1999, Paris, France"
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Bernard Courtois ... [et. al.], chairs/editors ; sponsored by SPIE--The International Society for Optical Engineering, CNRS-INPG-UJF (France)
出版者
  • SPIE
出版年月
  • c1999
書籍サイズ
28 cm
シリーズ名/番号
  • pt. 1
  • pt. 2

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注記

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