Microelectromechanical systems--materials and devices IV : symposium held November 29-December 3, Boston, Massachusetts, U.S.A.

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タイトル
"Microelectromechanical systems--materials and devices IV : symposium held November 29-December 3, Boston, Massachusetts, U.S.A."
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editors, Frank W. DelRio ... [et al.]
出版者
  • Materials Research Society
  • Cambridge University Press
出版年月
  • 2011
書籍サイズ
24 cm
シリーズ名/番号
  • : hard

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注記

"Symposium S, 'Microelectromechanical Systems--Materials and Devices IV,' held November 29-December 3 at the 2010 MRS Fall Meeting in Boston, Massachusetts..."--Pref

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